測(cè)量目的
為了維持玻璃的平坦性,必須在更寬廣的范圍內(nèi),進(jìn)行的控制溫度,這是因?yàn)槿绻诓AЩ鍍?nèi)產(chǎn)生溫度差,那么將會(huì)產(chǎn)生殘留應(yīng)力,而造成為彎曲等玻璃變形的,或者在切割時(shí)讓玻璃出現(xiàn)變形,影響了玻璃基板的穩(wěn)定性,并且還有可能因?yàn)闅埩魬?yīng)力的結(jié)果,在制程中貼付偏光板之后,會(huì)產(chǎn)生光的相位差,造成LCD模組出現(xiàn)漏光的現(xiàn)象。并且應(yīng)力作用會(huì)造成于玻璃表面的傷痕,也會(huì)讓基板產(chǎn)生破損的結(jié)果。
測(cè)量方法
使用美國MTI的高精度激光位移傳感器 MTI LTC-025-02SA/SP 逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)22.5°,如下圖所示
裝置構(gòu)造
測(cè)試結(jié)果
每移動(dòng)5mm測(cè)試一組數(shù)據(jù)
通過曲線擬合計(jì)算平坦度,通過以下圖形可以看出此次實(shí)驗(yàn)的面板平坦度為3μm
市場應(yīng)用
通過用MTI的激光位移傳感器LTC-025-02SA/SP成功測(cè)量透明材質(zhì)的平坦度,從而彌補(bǔ)了傳統(tǒng)激光位移傳感器在透明材質(zhì)或鏡面反射測(cè)量上的不足,增加了激光位移傳感器新的應(yīng)用領(lǐng)域,拓寬了激光位移傳感器的*,且性價(jià)比相當(dāng)高。